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等离子体增强CVD涂层体系沉积硅氧化物、硅氮化物、非晶硅和微晶硅薄膜

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重要属性

行业属性

涂层工艺
真空镀膜
功率(马力)
500W

其他属性

类型
涂层生产线
保修期
一年
加工材料
玻璃
视频出厂验货
可提供
机械测试报告
可提供
核心组件
PLC, 发动机, 轴承, 齿轮箱, 电机, 压力容器, 齿轮, 泵
原产地
Henan, China
品牌
CYKY
尺寸(长×宽×高)
1100mm x 800mm x1100mm
核心卖点
高生产率
真空室材料
1100mm x 800mm x1100mm
前级泵
旋片泵泵速为1.1l/S
二次泵
涡轮分子泵泵抽速600L/S
限制真空
10-6PA
真空 (沉积)
0.133 ~ 133PA,根据工艺调整
射频功率
13.56mhz,500w (自动匹配)
流量控制
质量流量计 (默认Ar,0 ~ 200sccm)

包装和发货信息

Packaging Details
Plastic paper inside,polyfoam filled,wooden box outside
Port
Zhengzhou

供应能力

供应能力
200 套 per Month

交货时间

供应商的产品说明

最低起订量: 1 sets
¥272,659.27-927,407.02

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