Compact Spin Coater (8000 Rpm, 4" Wafer Max.) W/ 3 Vacuum Chucks & Vacuum Pump - VTC-100A

产品描述

这是a带真空卡盘的紧凑型旋转涂布机专为通过溶胶-凝胶对高达4英寸的晶片进行简单快速的涂层而设计。旋转速度是可变的从500-8000 rpm与两个可编程段。该包装随附完整的附件，可立即使用。

的规格紧凑型旋转涂布机 (8000 rpm，最大4英寸晶圆)，带3个真空卡盘和真空泵-VTC-100A

结构	铝铸件外壳保持稳定纺丝 由聚丙烯 (PP) 制成的液体盘，可抵抗大多数腐蚀性溶液 排水出口和真空泵连接器在后面板上 标准包装中包含一个过滤器。它用于连接涂布机，防止废水流入泵 标准包装中包括一个无油真空泵，请点击这里有关规格详细信息。
腔室和真空卡盘	腔室直径: 145毫米 3套带卡盘o形圈的PP防腐真空卡盘有不同的尺寸 (1 ''，2'' 和4 '') 包括1条胶带 (6英寸宽x 24英寸长)，用于涂覆不规则形状的基材 (例如g。将不规则的基材放在胶带上，然后真空吸盘将通过吸力固定胶带) 迷你吸盘可用于直径小于1英寸的小晶圆或具有规则 (5x5或10x10mm) 或不规则形状的基板。请点击此处订购。额外付费。
真空泵	包括一个120L/min无油真空泵。 真空级橡胶管包括立即使用。
旋转速度和时间	数字控制面板，带二不同旋转时间和速度的可编程段 旋转速度: 500 - 8000 RPM 旋转时间: 1 - 60s
液体注射	20毫升注射器用于容纳涂层材料 注射器支架高度可沿支撑杆自由调节和旋转
可选	选项1: 可根据要求提供带有高达120 °C(<10分钟) 的数字温度控制器的PE加热盖，需额外付费。这是一个短时间的干燥过程 (通常需要几秒钟或最多10分钟)，可以使涂层干燥并固化，并在涂层过程完成后去除残留的溶剂。单击下面的演示视频和图片以获取详细信息。 选项2: 聚四氟乙烯加热盖 + 聚四氟乙烯真空吸盘组能够干燥温度高达200 °C(< 5分钟)。真空吸盘和腔室也需要用PTFE材料代替，以承受较高的加热温度。请点击聚四氟乙烯加热盖和卡盘组学习。 选项3: 带有控制器的紫外线照明罩，用于快速干燥聚合物薄膜 (新)
输入功率	110VAC或220VAC请选择选项栏中的电压 (10A保险丝)
电机功率	24V DC电机，最大150W。
产品尺寸	13英寸 (左) x 10英寸 (西) x 8.5英寸 (高)
净重	15千克 (33磅)
合规性	仅ce认证
保修	一年有限公司，终身支持 由于存储条件或维护不当而导致的生锈和损坏不在保修范围内
应用说明	为了获得最佳的涂层质量，请考虑在涂层之前使用等离子清洁剂清洁基材 (单击下面的图片以获取更多详细信息)。 旋转涂布机的清洁说明。 您可以考虑我们的新产品: 可加热注射器和带可加热盖的旋转涂布机 强烈建议您将涂布机放在右下方的通风柜下 当在带有Ar气体的手套箱中使用涂布机时，真空泵必须通过真空馈通或适配器放入手套箱外部
警告	请勿用任何液体冲洗水碗/底座。多余的液体会泄漏到电机轴中并造成损坏。请用织物抹布擦去船头/底座上残留的残留物。 冲洗水碗/底座时打开出水口，避免操作过程中液体溢出。 有关清洁程序的更多详细信息，请查看旋转涂布机的清洁说明。
运输尺寸	40英寸 (左) x 28英寸 (西) x 24英寸 (高)
运输重量	85磅

的参考紧凑型旋转涂布机 (8000 rpm，最大4英寸晶圆)，带3个真空卡盘和真空泵-VTC-100A

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公司信息

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